近日研制成功了基于PIG源的原子氧模拟装置，该装置的核心部件是永磁端引出潘宁离子源，在潘宁源的阴极和对阴极之间通过永磁体建立一个发散磁场有效抑制了电子的逸出；通过引出系统在2000-3000V下引出O^-离子，再经过聚焦、滤除电子和其他离子成分、减速后将5eV左右的O^-离子束流辐照的样品表面。通过Kapton膜质量损失法测得的等效通量为9.4×1014cm^-2s^-1。