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原子氧的剥蚀效应的初步研究
发布日期:2008-04-20 10:36:50

 利用新近研制的原子氧模拟装置针对Kapton膜开展了初步原子氧剥蚀效应研究,获得了在原子氧侵蚀作用下样品的形貌变化和质量损失情况,并测量分析了原子氧辐照前后样品表面成分的变化。

                

图1 Kapton膜在O-辐照前后的形貌比较(2007.2)

2 Kapton 膜在辐照前后的成分变化(2007.2